Euv露光技術 日本

Euv露光技術 日本 . Euvレジストの性能向上指針を示す(図2) 3)。膜厚60nm程度の薄膜となる化学増幅系レジスト はレジン、酸発生剤(pag)、クエンチャー等の混合物であり、薄膜レジスト中におけるpagやクエ ンチャーの分布や蒸散も無視できない。各構成物の相互溶解性を考...

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